路陽除了推出新一代輕巧機型可供設備管道間之清潔管理外,另推出LUYOR-365和LPX-365高強度表面檢查燈,可供工作對象清潔管理之用。
路陽的紫光微粒檢出機系利用的UV燈源,透過濾光片過濾產(chǎn)生出介于295nm 到 420nm波長的紫外光。該波段針對可能具有熒光成分的塵屑(如PCB之纖維、樹酯…等)、水漬、油漬及一些容易靜電吸附的異物,具有很好的辨識效果,作業(yè)員可輕易用眼睛辨視出來,并透過無塵布的擦拭而達到清潔之目的。
由于業(yè)者常利用紫光微粒檢出機來檢查大型設備的落塵狀況,但是因為部分機臺內(nèi)部管道狹窄,人員不易進出,故希望能縮小機臺的重量或是體積。 有鑒于此,路陽日前正式推出輕巧型手電筒式紫光微粒檢出機,可大幅提高使用之方便性。據(jù)了解,該新機型除沿用頗受好評鋰電模塊,另提供座充及機臺直接充電兩種選擇。使用者不必擔心機臺使用到一半而電力耗盡,可迅速作備份鋰電模塊之更換。
除此之外,路陽全新推出LP-40PY表面檢查燈有別于黃綠光微粒檢出機,專門適用于如晶圓、玻璃光罩、LCD ITO、DVD、光學玻璃等工作對象檢查。LP-40PY表面檢查燈利用500nm以上眼睛感覺舒服的波段,來做particle及刮傷的判別檢查。 操作者長時間操作對眼睛并不造成負擔,也不容易感到疲倦。
路陽表示,由于客戶可分別利用LUYOR-365紫光微粒檢出機及LP-40PY表面檢查燈做設備及工作對象清潔度管理,進而提高制程良率。因此目前該公司的產(chǎn)品已獲得國內(nèi)各半導體、PCB、LCD及光電大廠廣泛采用。
微粒檢出機就是適應工業(yè)越來越高的環(huán)境要求而研發(fā)生產(chǎn)的高科技表面污染檢查設備,它的應用解決了企業(yè)制程環(huán)境適時控制問題,受到大量工藝及制程工程師和企業(yè)主的歡迎,在提升產(chǎn)品品質(zhì)上也開始扮演重要角色,因而也受到相關(guān)品質(zhì)部門人員的歡迎。近年來微粒檢查機越來越廣泛的應用于工業(yè)電子及生物醫(yī)藥無塵室環(huán)境控制,其主要作用是能地將肉眼不可見之微粒檢出及可視化呈現(xiàn),其適合于工業(yè)管理者對無塵室的適時檢查(手持式表面檢查燈),也可用于工業(yè)制程環(huán)境的改善和品質(zhì)控制管理(桌上型表面檢查燈)。
根據(jù)不同的制程要求有紫光、綠光及白光燈,實踐證明UV表面微粒檢查機對對曝光機; 顯影機、蝕刻、黃光及偏光板貼附機臺效果為顯著。UV光是使用用人體無害的 UVA 波長: 365nm ,對於制程機臺 or Parts Cleaner 機臺上之有機物質(zhì),油漬、水漬、 帶靜電Paricle、毛屑、纖維、膠類物質(zhì)Particle皆可觀察。它們的應用有利于提高環(huán)境要求,改善無塵室管理及更地控制,符合工業(yè)發(fā)展的潮流。較無法觀察金屬鐵屑、玻璃及白底的地方,需強光或換一個較暗的背景。
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